Bom dia, Colega!
Não há CFOP especifico para isso, portanto use o 5949/6949, e, em regra geral, saída para utilização na prestação de serviços sujeitos ao ISS são casos de não incidência de ICMS por estar fora do escopo de abrangência do imposto, conforme Lei Complementar 87/1996 que instituiu o ICMS.
Art. 3.º O imposto não incide sobre
[...]
V - operações relativas a mercadorias que tenham sido ou que se destinem a ser utilizadas na prestação, pelo próprio autor da saída, de serviço de qualquer natureza definido em lei complementar como sujeito ao Imposto sobre Serviços de Qualquer Natureza - ISS, de competência tributária dos municípios, ressalvadas as hipóteses previstas na mesma lei complementar.
Lembrando de citar nas informações complementares qual é a destinação, a base legal da isenção, e se for o caso do seu estado, o Código de Beneficio Fsical correspondente.